http://proceedings.spiedigitallibrary.org/proceeding.aspx?articleid=2110839
Philipp Latzel, Fabio Pavanello, Emilien Peytavit, Mohammed Zaknoune, Guillaume Ducournau, Xavier Wallart, Jean-François Lampin
Institut d'Electronique de Microélectronique et de Nanotechnologie (France)
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